Высокоэнергетичный ионный источник (УАС)
Ионный источник выполнен на основе магнитной системы, имеющей конфигурацию типа "рейстрек" (ускоритель с анодным слоем).
Данный ионный источник предназначен для ионной активации подложек, азотирования, реактивного травления и других технологических процессов.
- Максимальный ток анода, А
- 0,35
- Номинальный ток анода, А
- 0,1...0,3
- Напряжение питания анода, В
- 1000...4000
- Ток катода, А
- 0...40
- Диапазон рабочих давлений (в среде аргона), Па
- 5х10-1...3х10-2
- Габариты ионного источника, мм
- 950х170х60
- Габариты блока питания ШхВхД, мм
- 482 х 3U (132,5 мм) х 515
- Масса блока питания, кг
- 20
- Индикация выходного тока и напряжения
- цифровая
- Погрешность измерения тока и напряжения
- не более 2%
- Уровень пульсаций напряжения анода,
- не более 5%
Оплата
Безналичный расчет для юридических лицДоставка
Доставка по условиям договоров по РФ и странам СНГ
