Семейство вакуумных установок BRV 700-D

На основе BRV 700-D реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены вакуумно-дуговым методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.

Вакуумная установка состоит из:

вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 700×700 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленным пирометром и кварцевым иллюминатором с заслонокой;
каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
шести нагревателей;
системы откачки, включающей в себя форвакуумный и байпасный клапаны;
системы управления;
гидро-пневмосистемы;
четырех дуговых испарителей;
трех датчиков низковакуумных;
клапана напуска воздуха в камеру;
датчика высоковакуумного;
затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
17-дюймового панельного компьютера;
насоса Рутса;
насоса пластинчато-роторного;
двух низкоэнергетичных ионных источников для ионной очистки и ассистирования с блоками питания;
четырех блоков питания дуговых испарителей;
трех расходомеров;
изолированного, водоохлаждаемого ввода вращения;
четырех блоков поджига дуговых испарителей;
одного колена 90°;
контроллера турбомолекулярного насоса;
блока подачи отрицательного потенциала смещения на технологическую оснастку.