Семейство вакуумных установок BRV 1000-R

Семейство вакуумных установок BRV1000R предназначено для нанесения металлических, в том числе резистивных покрытий на различные элементы высокоскоростным магнетронным методом с возможностью ионной очистки, либо ионного ассистированя.

Вакуумная установка состоит из:

• вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 1000×780 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
• двери вакуумной камеры из нержавеющей стали с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
• иллюминатора из кварцевого стекла с заслонкой;
• пирометра/термопары;
• каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
• защитно-декоративных панелей с блокирующими замками;
• технологической оснастки с системой сканирования подложек;
• системы нагрева на основе ТЭНов из нержавеющей стали;
• системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапана;
• стойки управления и питания;
• поддона с выдвижной клавиатурой;
• гидро- пневмосистемы;
• пяти магнетронов, из которых четыре могут работать как несбалансированные;
• датчиков низковакуумных;
• клапана напуска воздуха в камеру;
• датчика высоковакуумного магниторазрядного;
• датчика средневакуумного ионизационного;
• затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
• турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
• источника бесперебойного питания для турбомолекулярного насоса системы управления (поз. 22);
• 17-дюймового тактильно-чувствительного монитора;
• агрегата форвакуумного «сухого»;
• высокоэнергетичного ионного источника типа УАС для ионной очистки, ассистирования;
• блока питания ионного источника;
• блоков питания магнетронов;
• расходомеров;
• блока управления расходомерами;
• кварцевого контроля толщины (отдельная опция);
• контроля сопротивления по свидетелю (отдельная опция);
• встроенного компрессора (отдельная опция).

Более подробно ознакомиться с вакуумной установкой типа BRV 1000-R вы можете, скачав ее описание по ссылке ниже:

Описание BRV 1000-R