Семейство вакуумных установок BRV 750-M

На основе BRV 750-M реализуются практически любые технические направления, которые могут быть решены магнетронным методом нанесения функциональных покрытий с возможностью ионного ассистирования.

Вакуумная установка состоит из:

вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 750×1000 мм с двойной сплошной рубашкой охлаждения;
двери вакуумной камеры из нержавеющей стали, с установленными пирометром и заслонкой;
кварцевого иллюминатора;
каркаса силового, сваренного из стальных труб прямоугольного сечения;
защитно-декоративных панелей с блокирующими замками;
технологической оснастки с двойным планетарным вращением;
системы нагрева на основе ТЭНов из нержавеющей стали;
системы откачки, включающей в себя форвакуумный, байпасный и аварийный клапаны;
системы управления;
гидро-пневмосистемы;
двух пар дуальных магнетронов;
трех датчиков низковакуумных;
клапана напуска воздуха в камеру;
датчика высоковакуумного, датчика средневакуумного;
затвора высоковакуумного шиберного типа с пневмоприводом;
турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе;
источника бесперебойного питания для турбомолекулярного насоса и системы управления;
17-дюймового панельного компьютера;
агрегата форвакуумного «сухого»;
высокоэнергетичного ионного источника типа УАС для ионной очистки, ассистирования;
блока питания ионного источника;
блоков питания магнетронов;
трех расходомеров РРГ10 и блока управления расходомерами;
изолированного привода вращения;
комплекта внутрикамерных экранов из нержавеющей стали;
комплекта заслонок магнетронов с пневмопривоводом;
встроенного компрессора.