Семейство вакуумных установок BRV 700-O

На основе BRV 700-O формируются практически любые технические направления, которые могут быть решены контролируемым получением однослойных и многослойных оптических покрытий методом электронно-лучевого испарения с ионным ассистированием.

Вакуумная установка состоит из:

вакуумной камеры из нержавеющей стали размером 700×700 мм с ручьями охлаждения и вводами для монтажа охлаждаемой ловушки (отдельная опция);
двух электронно-лучевых испарителей с заслонками;
резистивного испарителя с заслонкой;
системы оптического контроля наносимого покрытия с механизмом смены контрольных образцов;
кварцевых датчиков толщины наносимых покрытий с контроллером;
низкоэнергетичного ионного источника для ионной очистки и ассистирования с блоком управления и питания;
технологической оснастки с одинарным и двойным вращением;
системы подвижных и неподвижных масок для выравнивания толщины наносимых покрытий по поверхности детали;
нагревателя деталей с использованием ТЭНов и датчика температуры;
каркаса силового;
турбомолекулярного насоса (ТМН) на магнитном подвесе, со скоростью откачки не менее 2000 л/сек по азоту;
затвора высоковакуумного не менее Ду250 (пневмопривод);
«сухого» насоса со скоростью откачки не менее 20 л/с по азоту;
форвакуумного клапана с Ду40 (пневмопривод);
байпасного клапана Ду63 (пневмопривод);
аварийного клапана Ду63 (пневмопривод);
активных датчиков давления (вакуума);
защитно-декоративных панелей со встроенными замками;
системы управления и питания.