Низкоэнергетичный ионный источник «АИДА»
Низкоэнергетичный ионный источник «АИДА» представляет собой торцевой холловский ускоритель, предназначенный для ионной активации подложек и ионного ассистирования при осаждении вакуумных покрытий, а также для реактивного травления, прокисления, азотирования и других технологических процессов.
- Максимальный ток анода, А
- 5
- Номинальный ток анода, А
- 2...4
- Напряжение питания анода, В
- 0...250
- Ток катода, А
- 0...30
- Ток соленоида, А
- 0,1...5,0
- Диапазон рабочих давлений (в среде аргона), Па
- 5х10-1...3х10-2
- Уровень пульсаций напряжения анода
- не более 5%
- Уровень пульсаций напряжения соленоида
- не более 5%
- Габариты ионного источника, мм
- 235х163
- Габариты блока питания ШхВхД, мм
- 482 х 3U (132,5 мм) х 515
- Масса ионного источника, кг
- 14
- Масса блока питания, кг
- 16
- Индикация выходного тока и напряжения
- цифровая
- Погрешность измерения тока и напряжения
- не более 2%
Оплата
Безналичный расчет для юридических лицДоставка
Доставка по условиям договоров по РФ и странам СНГ
